Este instrumento adopta un método de medición interferométrica óptica de desprazamento de fase sen contacto, non dana a superficie da peza durante a medición, pode medir rapidamente os gráficos tridimensionais da micro-topografía da superficie de varias pezas e analizar e calcular a medición. resultados.
Descrición do produto
Características: Axeitado para medir a rugosidade da superficie de varios bloques de calibre e pezas ópticas; a profundidade da retícula da regra e do dial; o espesor do revestimento da estrutura do suco da reixa e a morfoloxía da estrutura do límite do revestimento; a superficie do disco magnético (óptico) e a cabeza magnética Medición da estrutura; medición da rugosidade da superficie da oblea de silicio e da estrutura do patrón, etc.
Debido á alta precisión de medición do instrumento, ten as características de medición tridimensional e sen contacto, e adopta control por ordenador e análise e cálculo rápidos dos resultados da medición. Este instrumento é axeitado para todos os niveis de unidades de investigación de proba e medición, salas de medición de empresas industriais e mineiras, talleres de procesamento de precisión e tamén é adecuado para institucións de ensino superior e institucións de investigación científica, etc.
Principais parámetros técnicos
Rango de medición da profundidade de desnivel microscópico da superficie
Nunha superficie continua, cando non hai un cambio brusco de altura superior a 1/4 de lonxitude de onda entre dous píxeles adxacentes: 1000-1 nm
Cando hai unha mutación de altura superior a 1/4 da lonxitude de onda entre dous píxeles adxacentes: 130-1 nm
Repetibilidade da medida: δRa ≤0,5 nm
Aumento da lente do obxectivo: 40X
Apertura numérica: Φ 65
Distancia de traballo: 0,5 mm
Campo de visión do instrumento Visual: Φ0,25 mm
Fotografía: 0,13×0,13 mm
Aumento do instrumento Visual: 500×
Fotografía (observada pola pantalla do ordenador)-2500×
Matriz de medición do receptor: 1000X1000
Tamaño de píxeles: 5,2 × 5,2 µm
Tempo de medición Tempo de mostraxe (escaneo): 1S
Reflexividad do espello estándar do instrumento (alta): ~ 50%
Reflectancia (baixo): ~ 4%
Fonte de iluminación: lámpada incandescente 6V 5W
Lonxitude de onda do filtro de interferencia verde: λ≒530nm
Ancho medio λ≒10nm
Elevación principal del microscopio: 110 mm
Mesa elevadora: 5 mm
Rango de movemento en dirección X e Y: ~10 mm
Rango de rotación da mesa de traballo: 360°
Rango de inclinación da mesa de traballo: ±6°
Sistema informático: P4, 2,8G ou máis, pantalla plana de 17 polgadas con 1G ou máis de memoria